Grant: Alliance Grants
Université de Sherbrooke
$132,050.00
A versatile multi-project cleanroom fabrication process for superconducting quantum circuits
EF 2023-24
Résumé
Quantum information technology is currently transiting from academia to industry and the complexity of nanofabrication processes for state-of-the-art devices is growing rapidly. It is now exceeding the research and development capacity of start-up companies or academic research groups. In order to ensure continuous progress of quantum information technology, it is, therefore, necessary to pool the manufacturing efforts of small companies and research groups so as not to restrict the use of this strategic technology to a few large multinational companies. The goal of this project is to set up a pilot line for shared nanofabrication of state-of-the-art superconducting circuits in Canada. The project is based on a close collaboration between experts in superconducting quantum circuits at Institut Quantique (IQ) of Université de Sherbrooke (UdeS) and experts in micro- and nanofabrication at 3IT of UdeS where the transition to shared manufacturing has already taken place. The industrial partner CMC Microsystems, an expert in the mutualization of processes and tools for the Canadian academic and industrial world, will ensure that the project corresponds to the needs of the market. Equipment manufacturers Angstrom Engineering and Raith will contribute their expertise in thin film deposition and e-beam lithography to the project which will in turn help them to optimize their tools for quantum systems. The results of this project will be used directly by the industrial partner Nord Quantique, a start-up company in Sherbrooke that manufactures superconducting quantum circuits. La technologie pour l'information quantique subit actuellement une transition industrielle où la complexité des procédés de nanofabrication croît rapidement et dépasse désormais la capacité de recherche et de développement de jeunes entreprises ou de groupes de recherche académiques. Afin d'asseoir le progrès des technologies de l'information quantique, il devient donc nécessaire de mutualiser les efforts de fabrication de petites entreprises et groupes de recherche pour ne pas restreindre l'emploi de cette technologie stratégique à quelques grandes entreprises multinationales. Le but de ce projet est de mettre en place une ligne pilote pour des procédés de nanofabriaction de circuits supraconducteurs mutualisés au Québec. Le projet repose sur une collaboration étroite entre des experts en circuits supraconducteurs quantiques à l'Institut Quantique (IQ) de l'Université de Sherbrooke (UdeS) et des experts de la microfabrication du 3IT de l'UdeS où la transition vers la fabrication mutualisée a déjà eu lieu. Le partenaire industriel CMC Microsystèmes, expert dans la mutualisation de procédés et outils pour le monde académique et industriel canadien assurera que le projet corresponde aux besoins du marché. Les équipementiers Angstrom engineering et Raith contribueront avec leur expertise en dépôt de couches minces et lithographie électronique à ce projet qui, à son tour leur permettra d'optimiser leurs équipements pour des systèmes quantiques. Les résultats de ce projet serviront directement au partenaire industriel Nord Quantique, une entreprise en démarrage à Sherbrooke, qui fabrique des circuits quantiques supraconducteurs.
Programme
Alliance Grants
Bénéficiaire
Emplacement
Quebec, Canada
Type de bénéficiaire
Academia
Type
Grant
Source
NSERC's Awards Data
Tel que publié
Application id
576748-2022
Name nom
Hofheinz, Max M
Department département
Génie électrique et génie informatique
Organization id
68
Institution établissement
Université de Sherbrooke
Province en
Québec
Province fr
Québec
Country en
CANADA
Country fr
CANADA
Fiscal year exercice financier
2023
Competition year année de concours
2022
Award amount
132050
Program id
ALLRP
Program name en
Alliance Grants
Program name fr
Subventions Alliance
Group en
RESEARCH PARTNERSHIPS
Group fr
PARTENARIATS DE RECHERCHE
Committee code
96
Committee name en
RPP Internal Decision Cttee
Committee name fr
Cté de décision interne - PPR
Area of application code
802
Area of application group en
Information and communication services
Area of application group fr
Services d'information et de télécommunications
Area of application en
Information systems and technology
Area of application fr
Systèmes d'information et technologie de l'information
Research subject code
3301
Research subject group en
Condensed matterphysics
Research subject group fr
Superconductivity
Research subject en
Physique de la matière condensée
Research subject fr
Supraconductivité
Application title
A versatile multi-project cleanroom fabrication process for superconducting quantum circuits
Keyword
electrons beam lithography; metrology; nanofabrication; quantum information; superconducting quantum circuits; thin film deposition
Application summary
Quantum information technology is currently transiting from academia to industry and the complexity of nanofabrication processes for state-of-the-art devices is growing rapidly. It is now exceeding the research and development capacity of start-up companies or academic research groups. In order to ensure continuous progress of quantum information technology, it is, therefore, necessary to pool the manufacturing efforts of small companies and research groups so as not to restrict the use of this strategic technology to a few large multinational companies. The goal of this project is to set up a pilot line for shared nanofabrication of state-of-the-art superconducting circuits in Canada. The project is based on a close collaboration between experts in superconducting quantum circuits at Institut Quantique (IQ) of Université de Sherbrooke (UdeS) and experts in micro- and nanofabrication at 3IT of UdeS where the transition to shared manufacturing has already taken place. The industrial partner CMC Microsystems, an expert in the mutualization of processes and tools for the Canadian academic and industrial world, will ensure that the project corresponds to the needs of the market. Equipment manufacturers Angstrom Engineering and Raith will contribute their expertise in thin film deposition and e-beam lithography to the project which will in turn help them to optimize their tools for quantum systems. The results of this project will be used directly by the industrial partner Nord Quantique, a start-up company in Sherbrooke that manufactures superconducting quantum circuits. La technologie pour l'information quantique subit actuellement une transition industrielle où la complexité des procédés de nanofabrication croît rapidement et dépasse désormais la capacité de recherche et de développement de jeunes entreprises ou de groupes de recherche académiques. Afin d'asseoir le progrès des technologies de l'information quantique, il devient donc nécessaire de mutualiser les efforts de fabrication de petites entreprises et groupes de recherche pour ne pas restreindre l'emploi de cette technologie stratégique à quelques grandes entreprises multinationales. Le but de ce projet est de mettre en place une ligne pilote pour des procédés de nanofabriaction de circuits supraconducteurs mutualisés au Québec. Le projet repose sur une collaboration étroite entre des experts en circuits supraconducteurs quantiques à l'Institut Quantique (IQ) de l'Université de Sherbrooke (UdeS) et des experts de la microfabrication du 3IT de l'UdeS où la transition vers la fabrication mutualisée a déjà eu lieu. Le partenaire industriel CMC Microsystèmes, expert dans la mutualisation de procédés et outils pour le monde académique et industriel canadien assurera que le projet corresponde aux besoins du marché. Les équipementiers Angstrom engineering et Raith contribueront avec leur expertise en dépôt de couches minces et lithographie électronique à ce projet qui, à son tour leur permettra d'optimiser leurs équipements pour des systèmes quantiques. Les résultats de ce projet serviront directement au partenaire industriel Nord Quantique, une entreprise en démarrage à Sherbrooke, qui fabrique des circuits quantiques supraconducteurs.