Grant: Discovery Grants Program - Individual
Concordia University
$16,000.00
Anisotropic etching of silicon applied to microelectromechanical device processing and alternative processes for thin gate dielectrics
EF 1997-98
Résumé
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Programme
Discovery Grants Program - Individual
Bénéficiaire
Emplacement
Quebec, Canada
Type de bénéficiaire
Academia
Type
Grant
Source
NSERC's Awards Data
Tel que publié
Application id
121286-1997
Name nom
Landsberger, Leslie
Department département
Electrical and Computer Engineering
Organization id
70
Institution établissement
Concordia University
Province en
Québec
Province fr
Québec
Country en
CANADA
Country fr
CANADA
Fiscal year exercice financier
1997
Competition year année de concours
1997
Award amount
16000
Program id
RGPIN
Program nane en
Discovery Grants Program - Individual
Program name fr
Programme de subventions à la découverte - individuelles
Group en
Discovery grants programs
Group fr
Programmes de subventions à la découverte
Committee code
334
Committee name en
Commun.,Computers & Components
Committee name fr
Communic.,ordin. et composants
Area of application code
513
Area of application group en
Manufacturing processes and products
Area of application group fr
Procédés et produits industriels
Area of application en
Electrical and electronic machinery and equipment (including computer hardware)
Area of application fr
Machinerie et équipement électriques et électroniques (y compris matériel informatique)
Research subject code
2506
Research subject group en
Electrical and electronic engineering
Research subject group fr
Génie électrique et électronique
Research subject en
Electron devices
Research subject fr
Dispositifs électroniques
Partie
1
Nb partie
4
Application title
Anisotropic etching of silicon applied to microelectromechanical device processing and alternative processes for thin gate dielectrics
Keyword
NA
Application summary
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